- 高速画像処理装置と独自開発リペアユニットにより確実なボールリペアを実行
- パッケージサイズの大型化に伴うC4エリアの拡大にも追随した画像処理システム
- ストリップからパネルサイズ基板まで幅広く対応したマイクロボール検査リペアステム
- SECS/GEM、AGVに対応（オプション）
特徴
基本仕様
| 基板サイズ（W×L） | 60×100 ~ 260×300[mm] |
|---|---|
| ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] |
| 最小ボールピッチ | 90[μm]（φ50[μm]ball） |
| 機械アライメント精度 | ±15[μm] |
| 外形寸法（W×D×H） | 3,065×1,700×1,650[mm] |
| 重量 | 約3,200[kg] |
