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超低荷重対応
フリップチップボンダ
テープ幅 | 35[mm]、48[mm]、70[mm] |
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チップサイズ | 1×10~4×25[mm] |
加圧荷重 | 10 ~ 200[N] |
搭載精度 | ±3[μm](3σ) |
搭載ヘッド | 超音波ホーン(コンスタントヒータ RT~250[℃]) |
搭載ステージ | コンスタントヒータ RT~150[℃] |
外形寸法(W×D×H) | 2,900×1,500×1,950[mm] |
重量 | 約2,400[kg] |
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