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マイクロボールマウンタ
インラインシステム
パネルサイズ(W×L) | 60×100 ~ 300×300[mm] |
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ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] |
最小ボールピッチ | 90[μm](φ50[μm]ball) |
機械アライメント精度 | ±25[μm] |
外形寸法(W×D×H) | 9,800×1,800×1,740[mm] |
重量 | 約9,700[kg] |
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