ＪＰ/ＥＮ
マイクロボールマウンタ
インラインシステム
- １．ボール搭載機とボール検査リペア機をインライン化し、大幅に生産性を向上
- ２．給材から除材までウェハに触れることがない全自動生産を実現
- ３．各工程の並列処理により生産性をアップ
- ４．顧客プロセスに合わせたリフローや洗浄機の連結が可能
- ５．シリコンウェハ、モールドウェハに対応
- ６．ＳＥＣＳ/ＧＥＭ、ＯＨＴ、ＡＧＶに対応（オプション）
| ウェハサイズ | ８、１２インチ |
|---|---|
| ボール径 | φ５０［μｍ］ ～ φ３００［μｍ］ |
| 最小ボールピッチ | ９０［μｍ］（φ５０［μｍ］ｂａｌｌ） |
| 機械アライメント精度 | ±２５［μｍ］ |
| 外形寸法（Ｗ×Ｄ×Ｈ） | ９,０３０×２,１９０×１,６５０［ｍｍ］ |
| 重量 | 約６,６００［ｋｇ］ |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、ＦＯＵＰ対応 |
お問い合わせ
Ｃｏｐｙｒｉｇｈｔ(Ｃ)２０２１ アスリートＦＡ株式会社 Ａｌｌ Ｒｉｇｈｔｓ Ｒｅｓｅｒｖｅｄ.