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マイクロボール
検査リペアシステム
BM-2000WR | BM-2000SR | |
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ステージサイズ | 8、12インチウェハ | MAX□300[mm]パネル |
ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] | |
最小ボールピッチ | 90[μm](φ50[μm]ball) | |
機械アライメント精度 | ±15[μm] | |
外形寸法(W×D×H) | 3,065×1,700×1,650[mm] | |
重量 | 約2,900[kg] | |
ローダ、アンローダ | オープンカセット、FOUP対応 | カスタム対応可 |
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