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BM2000
BM-2000WR/SR

マイクロボール
検査リペアシステム

特徴
Features
  • 1.2台の検査カメラによるボールの抜け、余剰球、ピッチの高速検査が可能
  • 2.2種類のリペアに対応
    • (a)ボール抜け:フラックス塗布後、ボール搭載
    • (b)余剰球:ノズル吸引で除去
  • 3.自動キャリブレーション機能搭載
  • 4.2種類の径の違うボールが使用されているウェハ(パネル)でも一括で検査・リペアが可能
        (オプション)
  • 5.SECS/GEM、OHT、AGVに対応(オプション)
基本仕様
Specification
      BM-2000WR     BM-2000SR
 ステージサイズ  8、12インチウェハ  MAX□300[mm]パネル
 ボール径  φ50[μm] ~ φ300[μm]
 最小ボールピッチ  90[μm](φ50[μm]ball)
 機械アライメント精度  ±15[μm]
 外形寸法(W×D×H)  3,065×1,700×1,650[mm]
 重量  約2,900[kg]
 ローダ、アンローダ  オープンカセット、FOUP対応  カスタム対応可

お問い合わせ

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