ＪＰ/ＥＮ
マイクロボール
検査リペアシステム
- １．２台の検査カメラによるボールの抜け、余剰球、ピッチの高速検査が可能
- ２．２種類のリペアに対応
- （ａ）ボール抜け：フラックス塗布後、ボール搭載
- （ｂ）余剰球：ノズル吸引で除去
- ３．自動キャリブレーション機能搭載
- ４．２種類の径の違うボールが使用されているウェハ（パネル）でも一括で検査・リペアが可能
（オプション） - ５．ＳＥＣＳ/ＧＥＭ、ＯＨＴ、ＡＧＶに対応（オプション）
| ＢＭ-２０００ＷＲ | ＢＭ-２０００ＳＲ | |
|---|---|---|
| ステージサイズ | ８、１２インチウェハ | ＭＡＸ□３００［ｍｍ］パネル |
| ボール径 | φ５０［μｍ］ ～ φ３００［μｍ］ | |
| 最小ボールピッチ | ９０［μｍ］（φ５０［μｍ］ｂａｌｌ） | |
| 機械アライメント精度 | ±１５［μｍ］ | |
| 外形寸法（Ｗ×Ｄ×Ｈ） | ３,０６５×１,７００×１,６５０［ｍｍ］ | |
| 重量 | 約２,９００［ｋｇ］ | |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、ＦＯＵＰ対応 | カスタム対応可 |
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