ＪＰ/ＥＮ
マイクロボール検査リペアシステム
- １．独自のボール搭載方式により、高速で安定したボール搭載が可能
- ２．シンプルな機構でメンテナンスを簡易化
- ３．シリコンウェハ、モールドウェハに対応
- ４．最適化されたボール投入方式で、無駄のない高効率なボール使用を実現
- ５．ＳＥＣＳ/ＧＥＭ、ＯＨＴ、ＡＧＶに対応（オプション）
| ＢＭ-２０００ＷＲ | ＢＭ-２０００ＳＲ | |
|---|---|---|
| ステージサイズ | ８、１２インチ | ＭＡＸ□３００［ｍｍ］基板 |
| ボール径 | φ５０［μｍ］ ～ φ３００［μｍ］ | |
| 最小ボールピッチ | ９０［μｍ］（φ５０［μｍ］ｂａｌｌ） | |
| 機械アライメント精度 | ±２５［μｍ］ | |
| 外形寸法（Ｗ×Ｄ×Ｈ） | ３,０６５×１,７００×１,６５０［ｍｍ］ | |
| 重量 | 約２,９００［ｋｇ］ | |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、ＦＯＵＰ対応 | カスタム対応可 |
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Ｃｏｐｙｒｉｇｈｔ(Ｃ)２０２０ アスリートＦＡ株式会社 Ａｌｌ Ｒｉｇｈｔｓ Ｒｅｓｅｒｖｅｄ.