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BM-2000WR/SR

マイクロボール検査リペアシステム

特徴
Features
  • 1.独自のボール搭載方式により、高速で安定したボール搭載が可能
  • 2.シンプルな機構でメンテナンスを簡易化
  • 3.シリコンウェハ、モールドウェハに対応
  • 4.最適化されたボール投入方式で、無駄のない高効率なボール使用を実現
  • 5.SECS/GEM、OHT、AGVに対応(オプション)
基本仕様
Specification
      BM-2000WR     BM-2000SR
 ステージサイズ  8、12インチ  MAX□300[mm]基板
 ボール径  φ50[μm] ~ φ300[μm]
 最小ボールピッチ  90[μm](φ50[μm]ball)
 機械アライメント精度  ±25[μm]
 外形寸法(W×D×H)  3,065×1,700×1,650[mm]
 重量  約2,900[kg]
 ローダ、アンローダ  オープンカセット、FOUP対応  カスタム対応可

お問い合わせ

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お客様のニーズに合わせたFA機器をご提供致します

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