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bm1310w5
BM-1400W

マイクロボールマウンタ

特徴
Features
  • 1.独自のボール搭載方式により、高速で安定したボール搭載が可能
  • 2.シンプルな機構でメンテナンスを簡易化
  • 3.シリコンウェハ、モールドウェハに対応
  • 4.最適化されたボール投入方式で、無駄のない高効率なボール使用を実現
  • 5.SECS/GEM、OHT、AGVに対応(オプション)
基本仕様
Specification
 ウェハサイズ  8、12インチ
 ボール径  φ40[μm] ~ φ300[μm]
 最小ボールピッチ  80[μm](φ40[μm]ball)
 機械アライメント精度  ±13[μm]
 外形寸法(W×D×H)  3,820×1,700×1,700[mm]
 重量  約3,700[kg]
 ローダ、アンローダ  オープンカセット、FOUP対応

お問い合わせ

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要素技術を生かしたシステムで、
お客様のニーズに合わせたFA機器をご提供致します

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