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マイクロボールマウンタ
ウェハサイズ | 8、12インチ |
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ボール径 | φ40[μm] ~ φ300[μm] |
最小ボールピッチ | 80[μm](φ40[μm]ball) |
機械アライメント精度 | ±13[μm] |
外形寸法(W×D×H) | 3,820×1,700×1,700[mm] |
重量 | 約3,700[kg] |
ローダ、アンローダ | オープンカセット、FOUP対応 |
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