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BM1400
BM-1400W

マイクロボールマウンタ

特徴
Features
  • 1.従来のボール搭載機にお客様からの要望をフィードバックした次世代装置
  • 2.ボール搭載ヘッドのシングル化によるシンプル構造
  • 3.工場に合わせた柔軟な装置レイアウトが可能
  • 4.ボール使用量を極限まで抑えたボール搭載を実現
  • 5.架台剛性を高め、高速、高精度なパフォーマンスを実現
  • 6.シリコンウェハ、モールドウェハに対応
  • 7.SECS/GEM、OHT、AGVに対応(オプション)
基本仕様
Specification
 ウェハサイズ  8、12インチ
 ボール径  φ40[μm] ~ φ300[μm]
 最小ボールピッチ  80[μm](φ40[μm]ball)
 機械アライメント精度  ±13[μm]
 外形寸法(W×D×H)  3,820×1,700×1,700[mm]
 重量  約3,700[kg]
 ローダ、アンローダ  オープンカセット、FOUP対応

お問い合わせ

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お客様のニーズに合わせたFA機器をご提供致します

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