ＪＰ/ＥＮ
マイクロボールマウンタ
- １．独自のボール搭載方式により、高速で安定したボール搭載が可能
- ２．シンプルな機構でメンテナンスを簡易化
- ３．シリコンウェハ、モールドウェハに対応
- ４．最適化されたボール投入方式で、無駄のない高効率なボール使用を実現
- ５．ＳＥＣＳ/ＧＥＭ、ＯＨＴ、ＡＧＶに対応（オプション）
| ウェハサイズ | ８、１２インチ |
|---|---|
| ボール径 | φ４０［μｍ］ ～ φ３００［μｍ］ |
| 最小ボールピッチ | ８０［μｍ］（φ４０［μｍ］ｂａｌｌ） |
| 機械アライメント精度 | ±１３［μｍ］ |
| 外形寸法（Ｗ×Ｄ×Ｈ） | ３,８２０×１,７００×１,７００［ｍｍ］ |
| 重量 | 約３,７００［ｋｇ］ |
| ローダ、アンローダ | オープンカセット、ＦＯＵＰ対応 |
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Ｃｏｐｙｒｉｇｈｔ(Ｃ)２０２０ アスリートＦＡ株式会社 Ａｌｌ Ｒｉｇｈｔｓ Ｒｅｓｅｒｖｅｄ.