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マイクロボールマウンタ
ウェハサイズ | 8、12インチ |
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ボール径 | φ50[μm] ~ φ300[μm] |
最小ボールピッチ | 90[μm](φ50[μm]ball) |
機械アライメント精度 | ±25[μm] |
外形寸法(W×D×H) | 3,595×1,650×1,650[mm] |
重量 | 約2,600[kg] |
ローダ、アンローダ | オープンカセット、FOUP対応 |
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