省力化機械や半導体組立装置など各種自動化設備のアスリートFA株式会社

〒392-0012
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【FAエンジニアリング】

OA機器、半導体、電子部品、自動車、通信機器など
各業界向け各種高精密実装・組立システムの開発・設計・製造・販売

省力化ユニット装置の設計・製作・販売

1. スパッタ効率がよいRFマグネトロン方式
2. 多層膜をAUTOで且つ常温～300℃で製膜可能
3. ロードロック室付きなので、製膜室は常にクリーンを保てる
4. ターゲットは磁性・非磁性のスパッタ可能(一部条件による)
5. 操作パネルにより全体を瞬時に確認できる
6. シンプル構造なので低価格設定、研究開発用途に最適

■ガス反応室を搭載したRFマグネトロンスパッタ装置。

スパッタ室と反応室が分かれており、製膜時は反応性ガスとの接触がないのでクリーンな環境を保つ事ができる。
基本操作は自動・手動で行う事ができる化合物系太陽電池製膜のために作られた実験機である。


信州大学電気電子工学科　
橋本・ミョー研究室との共同開発
http://hashi.shinshu-u.ac.jp/

1. ガス供給部は1000℃まで加熱可能。
2. 仕様により他元素もガス反応可能